热喷涂粉末氧化钇(Y₂O₃)

• 氧化钇是包括卤素在内的气体等离子体环境中具有优异的耐腐蚀性和耐腐蚀性，并具有优良的电绝缘性（体积电阻率和介电击穿强度）。
• 高纯氧化钇喷涂是用于半导体和显示器的腔体内壁工艺中，一般用作空气等离子喷涂，在三氟化氮（NF3）气体和三氟甲基（CF3）气体环境中具有优异的抗腐蚀和耐腐蚀性能。
• 涂层越致密，等离子体的耐腐蚀性和绝缘性越好。我司的YT-25粉末的流态化技术可以实现这一特点。它是一种特殊的粉末，能在现有的APS和SPS涂层中间显示出致密的性能。